在同级别干式真空泵中，实现了卓越的节能性、紧凑性和轻便性。
极限压力下的功耗：400W；
安装面积：0.11m²；重量
：60kg。
■产品规格可根据您的应用需求定制。ER100D
：适用于轻负荷和洁净工艺排气；
ER100DC：采用高耐腐蚀材料，适用于腐蚀性气体的排气
目的
・清洁排气
・溅射设备粗加工
・TMP等高真空泵的辅助泵
・装载室和传输室排气
・小型实验设备排气
・吸附传输系统
・分析测量设备排气
・小型炉排气
・电子枪源和离子枪源排气
| 模型 |
ER100D/ER100DC（耐腐蚀型） |
| 泵速（升/分钟） |
1670 |
| 极限压力测试（Pa） |
5.0 |
| 极限压力下的功耗（瓦） |
400 |
| 电源 |
电压（V） |
200-220 |
| 频率（赫兹） |
50/60 |
| 阶段数 |
三相 |
| 功率容量（千伏安） |
3.2 |
| N2吹扫 气体流量（Pa·m3 / s） |
17-20 |
| 冷却方法 |
水冷 |
| 冷却水流量（升/分钟） |
1.5-3.0 |
| 冷却水温度（℃） |
最多 30 |
| 质量（千克） |
60 |
【支持的气体类型】
根据所吸入气体的类型，可能会对内部零件造成损坏。
请联系我们的销售部门了解支持的气体类型。
