■ 可在常压下连续运行。
开启时的排气速度:800升/分钟
■可能吸入水蒸气
蒸汽处理量:500克/小时
■ 缩短排气时间
保持恒定的排气速度直至排气周期接近尾声
■风冷规格
目的
・小型实验排气
・装载舱、运输
、分析和测量设备的排气
・加速器的抽真空、吸附
和运输・密封・电子枪源和离子枪源的排气・PVD设备(如干燥和溅射沉积)的排气・小型炉的排气・高真空泵(如TMP)的辅助泵
| 模型 | FR060D | ||
| 泵速(升/分钟) | 最大限度 | 1000 | |
| 开放运行期间 | 800 | ||
| 极限压力测试(Pa) | 通常 | 1.0 | |
| 当气体压载 | 2.0 | ||
| 连接类型 | 进气口 | KF(西北)40 | |
| 排气口 | KF(西北)40 | ||
| 最大水蒸气吞吐量*1 (克/小时) | 500 | ||
| 润滑剂用量(毫升) | 90 | ||
| 功耗(千瓦) | 在极限压力下 | 1.1 | |
| 最大限度 | 1.3 | ||
| 电源 | 电压(V) | 200-240 | |
| 频率(赫兹) | 50/60 | ||
| 阶段数 | 单相/三相 | ||
| 允许电压波动*2 | ±10% | ||
| 功率容量(千伏安) | 3.0 | ||
| 电流(安培) | 单相 | 11.1 | |
| 三相 | 6.5 | ||
| 冷却方法 | 空冷式 | ||
| 约重(千克) | 75 | ||
| 环境温度(℃) | 5-40 | ||
*1 这是使用气体镇流机构时的处理能力。
*2 如有特殊规格要求,请另行联系我们。
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