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全新 HORIBA堀场 CS-900 非接触式化学液体浓度监测器

这是一款非接触式化学液体浓度监测仪,用于测量半导体制造过程中使用的化学液体,例如清洗和蚀刻过程。
测量无需接触管道中流动的化学物质即可进行,从而实现安全稳定的浓度监测,避免化学品泄漏或污染。
  • 详细介绍
产品名称 非接触式化学液体浓度监测仪 CS-900
模型 CS-900
测量原理 吸收光谱法
浓度计算方法 温度补偿多元分析
测量范围和
重复性
(单位:质量%)
型号名称 成分名称 测量范围 重复性精度 模拟输出范围
CS-900-1P-1P25P5 NH3 0.00%-1.20% ±0.05% 0.00-10.00
H2O2 0.00%-5.50% ±0.10% 0.00-10.00
H2O 93.3%-100.0%  ±1.0%      -
CS-900-1P-P8P8 NH3 0.20%-0.80% ±0.03% 0.00-1.00
H2O2 0.20%-0.80% ±0.03% 0.00-1.00
H2O 98.4%-99.6% ±0.3%      -
测量条件 1) 测量周期:约 3 秒
2) 移动平均值:16 次
管道*1 PFA管道,1英寸或3/4英寸
样品溶液条件*2 化学品温度:20 至 80°C。
化学品温度变化与环境温度变化之差在 ±1°C 以内(1 小时)。
输入压力:≤ 0.2 MPa (G)。
压力变化:≤ 0.02 MPa。
电源 直流24伏
功耗*3 约30瓦
重量 显示单元:约 0.9 千克;
传感器单元:约 2.9 千克
外部尺寸(宽 x 深 x 高) 显示单元:96 x 135 x 96 毫米;
传感器单元*4:238 x 140 x 146 毫米
传感器单元安装角度 前后方向:±3度以内;左右方向:0至90度
光源寿命 5年
沟通交流 并行 I/O、RS-232C、模拟输出
可滚动

*1不提供防静电型号。
*2当样品液体不流动时,由于气泡的影响,可能无法进行准确测量。
*3不包括启动时的瞬态电流。
*4不包括凸起物。

 

本文网址 : https://www.yamakin-cn.com/product/5475.html

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