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供货 HORIBA堀场 CS-620F 光纤式热磷酸盐浓度监测器

这是一款磷酸盐浓度监测仪,无需冷却即可实时测量高温磷酸盐。
它非常适合控制半导体制造工艺中使用的磷酸浓度,主要用于3D NAND闪存的SiN层*1
蚀刻工艺。 *1 SiN层:在硅片等上形成的硅氮化合物薄膜。
  • 详细介绍
产品名称 化学液体浓度监测器
模型 CS-620F
测量原理 吸收光谱法
浓度计算原理 温度补偿多元分析
测量目标 H3PO4 / H2O
测量范围和
重复性
  成分名称 测量范围(质量百分比) 重现性准确度(质量百分比) 模拟输出范围(质量%)
第一种化学溶液 H3PO4 85.00-92.00 +/-0.10 85.00-100.00
H2O 8.0-15.0 +/-0.3 0.0-15.0
・重现性定义为与平均值(1 小时内)的最大误差。
・对于同一种化学溶液,在 140-170°C 的温度范围内,绝对读数误差可能高达 +/- 0.3%。
测量条件 1) 测量间隔:约 3 秒
2) 移动平均值:16 次
连接接头尺寸 1英寸或3/4英寸
测量溶液条件 化学品温度:140-170℃。
化学品温度变化与环境温度变化在±1℃以内(1小时)。
输入压力:≤0.2MPa。
压力波动:≤0.02MPa。
流量:1-30 L/min。
仪表空气(用于运行和吹扫) 连接方式:4mm 外径快速接头;
压力:0.2 MPa ± 0.02 MPa
电源 100-230V 交流电(单相),50/60Hz
功耗 约 85 VA(不包括启动时的瞬态电流)
沟通交流 并行 I/O、RS-232C、模拟输出
外部尺寸 (显示器主体)200(宽)× 308(深)× 78(高)毫米(不含凸起部分)
(光源单元)200(宽)× 262(深)× 100(高)毫米(不含凸起部分)
(样品池)240(宽)× 209(深)× 205(高)毫米(不含凸起部分)
重量 (监测单元)约 3.6 千克;
(光源单元)约 2.8 千克;
(样品池)约 3.0 千克
安装温度 (显示器主体和光源单元)20-30℃
(光纤、样品池)20-100℃
*室温无剧烈变化,波动范围在±1℃/小时以内
安装相对湿度 40-70%(无冷凝)
安装倾斜角度 (用于监测身体和光源单元)在±1°范围内
(样品池)安装时,气流向上,以防止气泡停滞。
光纤 标准长度:5米,最小弯曲半径:150毫米
本文网址 : https://www.yamakin-cn.com/product/5477.html

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