| 模型 | FBZ085010 |
|---|---|
| 舞台板材料 | 铝 - 黑色阳极氧化 |
| 发动机 | HR8电机（压电超声波驻波电机） |
| 轴承类型 | 精密交叉滚子轴承，具有滚子运动和防滑功能 |
| 编码器 | 金带刻度光学线性编码器 |
| 电缆长度 | 3米 |
| MTBF（平均故障间隔时间） | 30,000 小时 |
| 舞台弥撒 | 1300克 |
| 运动质量 | 310克 |
| RoHS | 兼容性 |
| 真空兼容选项 | 高真空 (HV) 最高可达 1.4 x 10-5 Pa ( 10-7 Torr ) 超高真空 (UHV) 最高可达 1.4 x 10-8 Pa ( 10-10 Torr ) |
| 移动范围（毫米） | 10毫米 |
|---|---|
| 编码器分辨率 | 标准10nm |
| 双向重复性 | 标准 0.1μm |
| 准确性 | 标准 3μm |
| 每种模式下的最小进给量 （取决于编码器和控制器） |
AC模式 100nm UHR模式 5nm DC模式 <1nm |
| 最大速度（垂直） | 50毫米/秒 |
| 直线度和平面度 | ±2 μm |
| 俯仰角和偏航角 | ±30μrad |
| 允许载荷 | 5公斤 |
| 动态失速力 | 160牛顿 |
| 电机刚性 | 57牛/微米 |
| 静压 | 150牛顿 |
此外，FZ楔形舞台可以按下表所示的组合购买。
