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原装 SAKAGUCHI坂口电热激光平面瞬时加热装置 ExLASER®

我们谨向您介绍我们的激光平板瞬时加热设备。
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最小激光氢退火系统

原子级抗锯齿热处理最小设备（最小激光氢退火设备）产品详情
对硅微结构进行原子级平滑和圆角控制，可显著提升微机电系统（MEMS）器件在众多领域和应用中的高性能和高可靠性！
这项新技术利用氢气气氛退火，通过原子抗锯齿退火（AAA）技术对三维结构进行平滑和圆角处理。该技术由东北大学金森义明教授发明，并已于2018财年至2020财年期间，由东北大学、产业技术综合研究所（AIST）和微型晶圆制造促进机构（Minimal Fab Promotion Organization）联合开发，实现商业化。