| 模型 | SELOP20F12-SP | SELOP24F12-SP |
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| 目标工作 | 515×510mm 面板 | 600×600mm 面板 |
| 方面 | 宽793×深739×高1433（毫米） | 宽793×深810×高1433（毫米） |
| 重量 | 140公斤 | 150公斤 |
| 应用 | 6/12 面板 FOUP（符合 SEMI E-181 标准） | |
| 周期 | FOUP 开机耗时 20 秒（含映射过程）， FOUP 关机耗时 15 秒（不含映射过程）。 |
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| 门保持方法 | 真空吸收法 | |
| 定位精度 | FOUP 前后轴精度为 ±0.1mm，FOUP 上下轴精度为 ±0.1mm | |
| 检测功能 | ①FOUP 存在 ②FOUP 位置 ③FOUP 门存在 ④晶圆映射 ⑤晶圆凸起 ⑥手部安全 | |
| 移动机构 | ①门（上/下・开/关・晶圆映射）：步进电机・同步带 ②夹钳・对接・锁扣：气缸 | |
| 标准功能 | ①晶圆映射 ②控制器 ③脱离位置调整功能（用于与OHT线配合调整） ④螺栓表面位置调整机构 ⑤自立式脚轮 ⑥以太网※ 通信规范 | |
| 公用事业 | ①电源： DC24V 5A ②空气 : 0.45 ∼ 0.6MPa 10L/min ③真空空气 :－60Kpa 5L/min | |
| 通信接口 | RS232C、以太网※ TCP/IP | |
| 选项 | ①可定制指示面板 ②可定制开关面板 ③载具ID读取器 ④信息板（A、B、C、D、E、F）（硬引脚和传感器） ⑤PIO ⑥不含映射功能 ⑦适用于AC200V ⑧E84 ⑨E84、CID通信 ⑩螺栓表面密封 ⑪氮气吹扫 | |
