| 系列名称 |
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| 舞台表面尺寸 | 60×60毫米 | 60×60毫米 | 60×60毫米 | 60×60毫米 | 60×60毫米 |
| 行程量 [毫米] | 30 | 50 | 75 | 100 | 150 |
| 承载能力(水平放置)[kgf] | 12 | 12 | 12 | 12 | 12 |
| 指导 | 线性滚珠导轨 | 线性滚珠导轨 | 线性滚珠导轨 | 线性滚珠导轨 | 线性滚珠导轨 |
| 主要材料 | 不锈钢 - 化学镀镍处理 |
不锈钢 - 化学镀镍处理 |
不锈钢 - 化学镀镍处理 |
不锈钢 - 化学镀镍处理 |
不锈钢 - 化学镀镍处理 |
| 最大速度(水平位置) [毫米/秒] |
25至100 | 25至100 | 25至100 | 30 到 100 | 30 到 100 |
| 重复定位精度 [在±μm以内] |
0.5 | 0.5 | 0.5 | 0.5 | 0.5 |
| 直线度(微米级) | 3 | 3 | 3 | 5 | 5 |
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