| 连接的探针 | UMA-500-R：专用电容式非接触探头（6φ直型）× 2； UMA-500-R-GAP：专用间隙探头（GWD160、GTD200、GTD400） |
|---|---|
| 位移测量范围 | UMA-500-R：0 至 500 μm； UMA-500-R-GAP(GWD160)：0 至 500 μm； UMA-500-R-GAP(GTD200,GTD400)：0 至 5000 μm |
| 位移偏移 | UMA-500-R:50 μm UMA-500-R-GAP(GWD160):50 μm UMA-500-R-GAP(GTD200,GTD400):100 μm |
| 位移零点调整 | 数字计算 |
| 位移分辨率 | 10 纳米均方根 |
| 频率响应 | 直流至 1 kHz |
| 筛选 | 低通/带通消除滤波器可以通过数字计算设置为任意频率。 |
| 模数转换器 | 转换方式：ΔΣ型 速度：5000次/秒、500次/秒、50次/秒可选 分辨率：24位（二进制） |
| 线性 | ±0.01% 或更低（通过近似公式校正） |
| 噪音 | 0.002% FS（均方根值）或更低 |
| 显示部分 | |
| 展示 | 5.7英寸TFT彩色液晶显示屏（320 x 240像素） |
|---|---|
| 显示值 | 位移值：-999999 至 999999 计算值：-999999 至 999999 |
| 单元 | 毫米、微米、纳米可选 |
| 小数点 | 0、0.0、0.00、0.000、0.0000（固定或自动可选） |
| 显示更新时间 | 可配置的时间为 0.1 至 2.0 秒 |
| 判决展示 | 上下限比较（具备蜂鸣器声音通知和显示屏颜色通知功能） |
| 状态显示 | 状态：近/远/保持/保存/确定/NG 保持：采样/峰值/底部/PP |
| 波形显示 | 在图形屏幕上，绘制输入A/B图波形、计算值图波形和李萨如图形波形。 |
