YAMAMOTO-MS山本镀金A-52硅片电镀实验设备套装

YAMAMOTO-MS山本镀金A-52硅片电镀实验设备套装

 产品信息  A-52硅片电镀实验设备套装 晶圆电镀设备 A-52硅片电镀实验设备套装 这是一套适用于2英寸至12英寸硅晶圆的电镀设备。通过使用专用夹具，可以对半导体和MEMS进行精密电镀。 特征 水箱的设计目的是不断过滤水，同时从底部产生温和的对流，使水溢出。 有单侧溢流型和可高速混合的双侧溢流型两种类型，直接混合时使用桨式搅拌器。 它也可以用作生产设施。 我们已获得多项国内和国际专利，还有多项专利正在申请中。 基材 它不仅可以用于硅晶片，还可以用于SiC、玻璃、GaAs、InP等材料制成的基板。 关于定制产品 基于我们的标准设备，我们可以根据您的样品定制夹具或双面电镀夹具。我们 也拥有阳极氧化和氧化铝设备制造经验。 我们拥有全密封型、非密封型、卧式等各种夹具，欢迎随时通过咨询表格与我们联系　。 套装内容 A-52-ST□AWJYPPA 硅片电镀实验装置组WJ型（配YPP电源） 零件编号 产品名称 数量  A-52-ST□-P01A 硅片槽（亚克力双底型） 1  A-52-ST□-P02A 硅片阴极盒（标准型）(*1) 1  A-52-ST□-P09A 硅片阳极支架（阳极背面刷过）（*2） 1  A-52-ST□-P04D 桨式搅拌器 1  B-90-A20-APFA05 / B-90-A40-APFWJ05 Minimini过滤器20APFA型（适用于2至6英寸）迷你过滤器40APFWJ型（8英寸适用） 1  A-63-M202 B-92-M10-P04A 气泵M202（AC100V）（2-4英寸） 10L水族箱气泵（5-8英寸） 1  A-52-P18 空气过滤器 1  A-52-ST2-P10WJ B-85WJ B-83WJB2 B-95-1A 晶圆水箱加热器WJ2型（2英寸） 300W PFA涂层加热器（AC100V） 300W石英小型浸入式加热器WJB型（5-6英寸） 500W石英加热器（8英寸）  2 1 3 3  – 温度传感器、加热器紧固件 1  (*1) 方向选择：平面型/缺口型。另有密封型/吸气密封型可供选择。 (*2) 不溶性阳极也提供隔膜型。 (*3) 产品编号中的方形标记表示英寸数。 (*) 本产品为YPP电源配套产品。电源、温度调节器、阳极板另售。请另行指定电源，A-57-15031WA、A-57-15100WA、A-57-15101D另售。PC另售。 强力搅拌槽（双面溢流型）可实现约两倍的搅拌速度 通过将溢流口从单侧改为双侧，桨叶搅拌速度最高提升至130rpm。这提高了液体搅拌效率，使电镀更加稳定。此外，还增加了防止液体飞溅的结构。 零件编号 产品名称 数量  A-52-ST□-U 硅片槽（亚克力双底型） 1  此产品为定制产品。请联系我们了解尺寸和规格。 根据电镀类型和尺寸，我们可能会建议采用三面溢流类型。 产品视频