特征
・缩小空间设计
这是原创的对角线布局设计。从日常操作到维护保养，所有操作均可从正面进行。
当多台设备并排安装时，由于侧面维护面积可以减少，因此在原本只能安装4台传统设备的空间内，可以安装5台AD3000T HC-PLUS。
・晶圆处理（WH）和帧处理（FH）的自动切换
通过配方设置，可以轻松实现晶圆处理规范和框架处理规范之间的自动切换。
这减少了更改设置所需的人工时间，并有助于防止操作失误。
・标配FOUPS开瓶器
FOUP 盖的自动开启和关闭降低了晶圆损坏的风险，并降低了批次处理过程中环境污染的风险。
・切割台面内校正功能（Active-Z）为标配
这可以校正工作台面内的高度偏差，实现高精度高度控制。
尤其适用于半切应用中所需的高精度Z轴高度控制。
・提高生产效率（吞吐量）
采用对置式双轴主轴设计和最小X轴移动量，实现了零浪费加工。X
轴速度：1000毫米/秒，Y轴速度：300毫米/秒，Z轴速度：80毫米/秒。
所有X、Y、Z轴均采用伺服电机，以提高轴速。
通过优化控制软件和三轴同步控制，缩短了加工时间
。标配两套光学切割组件（简称OPC）。通过同步设置，减少了待机时间。
・可操作性
该设备采用17英寸触摸面板和图形用户界面（GUI）。
只需轻触图标式按钮，即可实现简单便捷的操作。
其操作系统与AD/SS系列产品相同，用户可轻松上手。
规格
| 最大工作尺寸 | Φ 305 毫米 | |
| 最大支撑框架 | 12英寸（SEMI G74-0699） | |
| 主轴 | 旋转次数 | 60,000转/分钟 |
| 最大叶片直径 | Φ 60 毫米（2 英寸） | |
| 评级输出 | 1.8千瓦 | |
| X轴 | 可切割系列 | 310毫米 |
| 最快速度 | 1000 毫米/秒 | |
| Y1/Y2轴 | 可切割系列 | 310毫米 |
| 最快速度 | 300 毫米/秒 | |
| 控制分辨率 | 0.078 微米 | |
| 累积精度 | 0.002 毫米 / 310 毫米 | |
| Z1/Z2轴 | 中风 | 34毫米 |
| 解决 | 0.002 微米 | |
| 最快速度 | 80 毫米/秒 | |
| 重复性 | 0.001毫米 | |
| Θ轴 | 旋转范围 | 380° |
| 规格 | 电压 | 三相交流电 200 至 220 伏 ±10% （除上述情况外，兼容变压器） |
| 消耗的电力 | 6.0 千伏安（最大值） | |
| 空气供应压力 | 0.55至0.7兆帕 | |
| 平均空气消耗量 | 210 升/分钟（0.55 兆帕时） | |
| 平均消耗的洁净空气量 | 140 升/分钟 | |
| 切割水，其他（压力） | 0.3 至 0.5 兆帕 | |
| 切割水，其他（最大流量） | 切割用水量：10.0 升/分钟； 水帘用水量：3.0 升/分钟； 其他用水量：0.6 升/分钟 |
|
| 冷却水（压力） | 0.3 至 0.5 兆帕 | |
| 冷却水（最大流量） | 3.4 升/分钟（0.3 兆帕时） | |
| 排气流量 | 每分钟多 5.0 立方米 | |
| 尺寸（宽 x 深 x 高） | 1290毫米 x 1530毫米 x 1900毫米 | |
| 重量 | 1330公斤 | |
