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原厂 accretech 东京精密 相对式双轴主轴全自动Φ300mm晶圆切割机 AD3000T-PLUS

全自动Φ300mm晶圆切割机
AD3000T-PLUS
相对式双轴主轴呈对角排列,既节省空间又便于维护。
所有日常操作,例如叶片更换和维护工作,均可从设备正面进行。无需侧面操作,因此设备布局可以采用更小的间隙。这有助于在洁净室中节省人力。
  • 详细介绍

特征


・缩小空间设计
这是原创的对角线布局设计。从日常操作到维护保养,所有操作均可从正面进行。 
当多台设备并排安装时,由于侧面维护面积可以缩小,因此在原本只能安装4台传统设备的空间内,可以安装5台AD3000T-PLUS。


・提高生产效率(吞吐量)
采用对置式双轴主轴设计和最小X轴移动量,实现了零浪费加工。X
轴速度:1000毫米/秒,Y轴速度:300毫米/秒,Z轴速度:80毫米/秒。
所有X、Y、Z轴均采用伺服电机,以提高轴速。
通过优化控制软件和三轴同步控制,缩短了加工时间
。标配两套光学切割组件(简称OPC)。通过同步设置,减少了待机时间。
・标配高性能、高输出主轴
额定功率 1.8 kW,最大转速 60 krpm(也可选择安装额定功率 2.2 kW 的高扭矩主轴)。
支持加工各种材料,从硅到难加工材料。


・可操作性
采用17英寸触摸面板和图形用户界面(GUI)。 
只需触摸图标化的按钮,即可实现简单舒适的操作。
・丰富的可选设置
中间体处理功能、内置紫外线照射系统、条形码阅读器自动配方切换功能、离子发生器等。
由于选配单元占地面积小且内部设计优化,主要选配单元均可内置。
・硬盘中可存储超过10000个食谱
・标配USB接口
(U盘可用作外部存储设备)
・标配回声功能
通过优化真空控制,与我们传统的设备相比,空气消耗量减少了 50% 或更多。

规格

最大工作尺寸 Φ 305 毫米
最大支撑框架 12英寸(SEMI G74-0699)
主轴 旋转次数 60,000转/分钟
最大叶片直径 Φ 60 毫米(2 英寸)
Φ 80 毫米(3 英寸)(可选)
评级输出 1.8千瓦
X轴 可切割系列 310毫米
最快速度 1000 毫米/秒
Y1/Y2轴 可切割系列 310毫米
最快速度 300 毫米/秒
控制分辨率 0.078 微米
累积精度 0.002 毫米 / 310 毫米
Z1/Z2轴 中风 35毫米
解决 0.002 微米
最快速度 80 毫米/秒
重复性 0.001毫米
Θ轴 旋转范围 380°
规格 电压 三相交流200至220伏±10%
(除上述情况外,兼容变压器)
消耗的电力 6.0 千伏安(最大值)
空气供应压力 0.55至0.7兆帕
平均空气消耗量 210 升/分钟(0.55 兆帕时)
平均消耗的洁净空气量 140 升/分钟
供水压力(断水、其他) 0.3 至 0.5 兆帕
供水
最大流量
切割用水量:10.0 升/分钟;
水帘流量:3.0 升/分钟;
其他流量:0.6 升/分钟
冷却水压力 0.3 至 0.5 兆帕
冷却水流量 3.4 升/分钟(0.3 兆帕时)
排气流量 5.0 立方米/分钟或以上
尺寸(宽 x 深 x 高) 1290毫米 x 1530毫米 x 1900毫米
重量 1360公斤
本文网址 : https://www.yamakin-cn.com/product/6313.html

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