特征
紧凑型设计,兼容φ150mm晶圆的切割机。
支持多种材料,从硅到难切割材料均可适用。
其旨在缩小宽度的设计,在多台设备并排运行时,可显著提高单位面积的生产效率。
标配高性能、高输出主轴,额定
功率 1.8 kW,最高转速 60 krpm(也可选配额定功率 2.2 kW、高扭矩主轴)
采用门式结构和X、Y、Z轴伺服电机驱动,提高了生产效率(吞吐量)。
既缩小了占地面积,又实现了高吞吐量。
操作性方面,
该设备采用17英寸触摸屏+图形用户界面(GUI)。
只需轻触图标式按钮,即可实现简单便捷的操作。
该设备搭载与AD/SS系列相同的操作系统,操作方式与AD/SS系列相同。
规格
| 最大工作尺寸 | Φ 150 毫米 |
| 主轴布局 | 单轴 |
| 主轴额定功率 | 1.8千瓦 |
| 主轴最高旋转次数 | 60,000转/分钟 |
| X轴发送速度输入范围 | 0.1-300 毫米/秒 |
| X轴返回速度 | 750 毫米/秒 |
| Y轴分辨率 | 0.0001毫米 |
| Y轴定位精度 | 0.002 毫米/162 毫米 |
| Y轴重复性 | 0.001毫米 |
| Z 轴标准兼容刀片直径 |
Φ 48-Φ 60 毫米 |
| 规格尺寸(宽 x 深 x 高) | 495毫米×880毫米×1715毫米 |
| 规格重量 | 389公斤 |
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