特征
紧凑型设计,兼容φ300mm晶圆的切割机。
支持多种材料,从硅到难切割材料均可加工。
如果选择特殊规格中的方形工作台,还可以加工尺寸最大为300mm x 250mm的基板。
标配高性能、高输出主轴,额定
功率 1.8 kW,最高转速 60 krpm(也可选配额定功率 2.2 kW 的高扭矩主轴)
提高生产效率(吞吐量):
刚性增强 + X、Y、Z 轴伺服电机驱动
;实现占地面积缩小和高吞吐量。
高可扩展性(标准规范支持多种加工模式)。
标配功能包括:支持多工件加工,以及针对多工件加工状态进行对准,并可通过对准处理检测工件变形,校正切割位置(Y,θ)以获得最佳芯片等。标配
各种加工应用所需的软件功能,支持从硅芯片到电子元件加工的广泛应用。
操作性方面,
该设备采用17英寸触摸屏+图形用户界面(GUI)。
只需轻触图标式按钮,即可实现简单便捷的操作。
该设备搭载与AD/SS系列相同的操作系统,操作方式与AD/SS系列相同。
规格
| 最大工作尺寸 | 直径 300 毫米,尺寸 300 毫米×250 毫米 | |
| 主轴 | 旋转次数 | 60,000转/分钟 |
| 最大叶片直径 | 直径 2 至 3 英寸(直径 60 至 80 毫米) | |
| 评级输出 | 1.8千瓦 | |
| X轴 | 可切割系列 | 310毫米 |
| 最快速度 | 800毫米/秒 | |
| Y轴 | 可切割系列 | 310毫米 |
| 最快速度 | 300毫米/秒 | |
| Z轴 | 累积精度 | 0.002毫米/310毫米 |
| 中风 | 35毫米 | |
| 最快速度 | 80毫米/秒 | |
| 重复性 | 0.001毫米 | |
| Θ轴 | 旋转范围 | 380° |
| 规格 | 电压 | 三相交流200至220伏±10%(除上述情况外,兼容变压器) |
| 消耗的电力 | 4.0 kVA(最大值) | |
| 空气供应压力 | 0.55至0.7兆帕 | |
| 平均空气消耗量 | 180 升/分钟(0.55 兆帕时) | |
| 切割水,其他(压力) | 0.3 至 0.5 兆帕 | |
| 切割水,其他(最大流量) | 2.0 升/分钟 | |
| 冷却水(压力) | 0.3 至 0.5 兆帕 | |
| 冷却水(最大流量) | 1.9 升/分钟(0.3 兆帕时) | |
| 排气流量 | 5 毫升/分钟或以上 | |
| 尺寸(宽 x 深 x 高) | 890毫米×1000毫米×1560毫米 | |
| 重量 | 800公斤 | |
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