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现货 accretech 东京精密 单轴 Φ300mm晶圆的半自动切割机 SS30

半自动
刀刃
Φ300毫米
电子元件
单轴
半导体
用于Φ300mm晶圆的半自动切割机
SS30
该设备采用与全自动切割机相同的刚性高、闸门式结构。其结构不易受热收缩或振动影响,从而确保了稳定的切割环境。最大工件尺寸为Φ300mm,方形工作台可加工最大尺寸为300mm x 250mm的方形基板。采用我们自主研发的轴向机构,有效提升了X、Y、Z轴的转速,提高了加工效率。标配1.8kW高功率主轴。可广泛应用于硅片到电子器件等领域。
  • 详细介绍

特征

紧凑型设计,兼容φ300mm晶圆的切割机。
支持多种材料,从硅到难切割材料均可加工。 
如果选择特殊规格中的方形工作台,还可以加工尺寸最大为300mm x 250mm的基板。 

标配高性能、高输出主轴,额定
功率 1.8 kW,最高转速 60 krpm(也可选配额定功率 2.2 kW 的高扭矩主轴)

提高生产效率(吞吐量): 
刚性增强 + X、Y、Z 轴伺服电机驱动
;实现占地面积缩小和高吞吐量。

 高可扩展性(标准规范支持多种加工模式)。
标配功能包括:支持多工件加工,以及针对多工件加工状态进行对准,并可通过对准处理检测工件变形,校正切割位置(Y,θ)以获得最佳芯片等。标配 
各种加工应用所需的软件功能,支持从硅芯片到电子元件加工的广泛应用。 

操作性方面,
该设备采用17英寸触摸屏+图形用户界面(GUI)。 
只需轻触图标式按钮,即可实现简单便捷的操作。 
该设备搭载与AD/SS系列相同的操作系统,操作方式与AD/SS系列相同。

规格

最大工作尺寸 直径 300 毫米,尺寸 300 毫米×250 毫米
主轴 旋转次数 60,000转/分钟
最大叶片直径 直径 2 至 3 英寸(直径 60 至 80 毫米)
评级输出 1.8千瓦
X轴 可切割系列 310毫米
最快速度 800毫米/秒
Y轴 可切割系列 310毫米
最快速度 300毫米/秒
Z轴 累积精度 0.002毫米/310毫米
中风 35毫米
最快速度 80毫米/秒
重复性 0.001毫米
Θ轴 旋转范围 380°
规格 电压 三相交流200至220伏±10%(除上述情况外,兼容变压器)
消耗的电力 4.0 kVA(最大值)
空气供应压力 0.55至0.7兆帕
平均空气消耗量 180 升/分钟(0.55 兆帕时)
切割水,其他(压力) 0.3 至 0.5 兆帕
切割水,其他(最大流量) 2.0 升/分钟
冷却水(压力) 0.3 至 0.5 兆帕
冷却水(最大流量) 1.9 升/分钟(0.3 兆帕时)
排气流量 5 毫升/分钟或以上
尺寸(宽 x 深 x 高) 890毫米×1000毫米×1560毫米
重量 800公斤
本文网址 : https://www.yamakin-cn.com/product/6318.html

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