特征
凭借独特的激光引擎机构，实现高质量加工和高产能兼顾。
传统的激光开槽工艺难以同时兼顾高质量和高产能，二者之间存在权衡关系。而
我们独创的激光引擎机构与高刚性平台相结合，消除了这种权衡关系，提供了一种高质量、高产能的激光开槽工艺。
Φ 300 毫米晶圆兼容全自动激光开槽机，
自动支持从水溶性保护膜分发到激光切割和清洗的一系列工艺。
支持激光开槽工艺。
光学设计非常适合低介电常数材料分组以及从地面上方移除热电发电机。
加工变形和热损伤被降至最低，并形成稳定的加工槽。
操作性方面，
该设备采用17英寸触摸屏+图形用户界面（GUI）。
只需轻触图标式按钮，即可实现简单便捷的操作。
该设备搭载与AD/SS系列相同的操作系统，操作方式与AD/SS系列相同。
规格
| 型号名称 | AL3000 | |
| 加工方法 | 消融 | |
| 激光振荡器 |
半导体激光激发Q开关固态激光器 |
|
| 波长 | 355纳米 | |
| 最大工件尺寸 | Φ 305 毫米 | |
| 切割动作 | 310 毫米 x 310 毫米 | |
| X轴 | 最大移动速度 | 1000 毫米/秒 |
| Y轴 | 最大移动速度 | 300 毫米/秒 |
| 定位精度 | 0.078 微米 | |
| Z轴 | 最大移动速度 | 10 毫米/秒 |
| 重复性准确度 | 1.0 微米 | |
| θ轴 | 最大旋转角度 | 380.0度 |
| 电源 |
三相 200～220VAC±10% |
| 功耗 | 2.0 kVA（参考值） |
| 空气供应压力 | 0.5～0.7兆帕 |
| 平均空气消耗量 | 400 升/分钟 |
| N2供应压力 | 0.3～0.5兆帕 |
| N2平均消耗量 | 30 升/分钟 |
| 去离子水供应压力 | 0.3～0.5兆帕 |
| 最大去离子水消耗流量 | 6.0 升/分钟 |
| 排气 | 4.0 立方米/分钟或更多 |
| 尺寸（宽x深x高） | 1645毫米 x 1680毫米 x 1800毫米 |
| 机器重量 | 2500公斤 |
