特征
AP3000/AP3000e 是一款新一代超高性能探针台,旨在实现高精度、高吞吐量(包括索引移动、晶圆处理和晶圆对准)、低振动和低噪音。
机器标配防病毒/反恶意软件。AP3000
/AP3000e 的功能和操作性继承自前代产品,并保持了配方和映射数据的兼容性。该设备操作简便,并充分考虑了安全性和可靠性。
选项
针头清洗(清洗晶片或清洗装置)
风扇过滤单元(小型环境)
高频夹具/机械臂,测试仪接口
装载机:2台装载机/带AMHS的自动化系统
探头倾斜(探针卡倾斜)
卡盘:环境温度/高温/低温/低噪音
APC:自动探针卡更换
磁带识别码读取
晶圆 ID 读取(顶面/背面)
GB-IB接口
探针网络(Veganet、Light-Veganet、Vega-Planet、GEM)
PCAS(探针卡自动设置)
探针卡PGV
PLP测试适用于最大300毫米见方的颗粒。
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