特征
它可对 5 至 8 英寸晶圆进行传输和测试。(UF200R)
它可对 4 至 8 英寸晶圆进行传输和测试。(UF190R)
兼容 MMI,与 UF2000 相同。
多种选择使得各种非行业标准的晶圆测试成为可能。
选项
测试环境需从低温过渡到高温(UF190R 仅适用于高温环境)
4英寸晶圆(UF200R)测试环境
测试头用铰链式机械臂(UF200R)
用于翘曲和超薄晶圆的特殊转移机构
通过专用机制进行MEMS传输
微电流测试环境
高压测试环境
多种多样的网络环境
高速针痕检测功能
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