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特征
通过将加工位置设置在呈三角形排列的滑轨的中心位置,并将进给轴设置在加工位置,从而实现了在研磨工作负荷下机械变形较小的结构。
由于其高刚性,它可以在更短的时间内完成加工,同时减少研磨损伤。
由于其高刚性,它能够实现适当的自锐化,从而延长磨石的使用寿命。
它配备了符合批量处理要求的在线测量装置,可在批量处理过程中一边测量晶圆厚度一边进行加工。
它能检测砂轮是否堵塞,并根据需要进行修整。
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