特征
支持对各种工件进行全自动加工，例如最大直径 200 毫米的晶圆、
安装在切割框架上的晶圆、边长最大 300 毫米的 PLP 基板
以及最大直径 50 毫米（5 公斤）的晶锭，并支持批量加工。
东京精密集团秉承集团的基本环境理念，致力于实现可持续发展的社会。该理念是：“东京精密将环境保护视为全人类共同的重要主题，并将环境保护作为所有产品开发、设计、制造和服务活动的组成部分。”
基本环境政策
从半导体制造设备和精密测量仪器等产品的制造到服务的提供，东京精密在所有业务活动中，每个人都必须始终秉持“此举是否对地球友好？”的理念。我们的目标是将对地球环境的影响降至最低。
