特征

合理的初始成本
占地面积小
高性能CMP → 来自大规模生产的专业技术
灵活定制，满足用户需求 → 从研发、试生产到批量生产
提供 2”～8” 抛光头，一个系统即可抛光多种尺寸的晶圆。
安装晶圆装载机后，即可实现全自动操作。
安装清洁装置可实现精确清洁
气浮头“仙女”
气膜的形成可在晶圆平面内提供非常均匀的压力分布。
拥有独立于气膜的安全气囊可提供低压稳定性。
独立的保持压力气囊可提供出色的边缘轮廓控制
一键更换固定器/膜片可减少停机时间（见下文）
可添加区域控制功能（可选）
光学终点检测系统
采用白光光源，利用宽波长范围的反射数据和特殊算法，精确检测残留薄膜的变化。
仙女

提供广泛的应用

提供多种适用于批量生产的可选功能
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