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供应 accretech 东京精密 φ300mm晶圆的自动清洗系统 A-CS-300

清洁系统
适用于φ300mm晶圆的自动清洗系统
A-CS-300
该设备非常适合对半自动切割机切割和开槽后的工件进行旋转清洗和干燥。它通过根据工件尺寸调整气动加速清洗和摆臂式清洗喷嘴的驱动范围,展现出卓越的清洁能力。
该设备可承载直径达 300 毫米的框架。
  • 详细介绍

特征

最高转速可达 3000 min-1

可选框架尺寸:5 至 12 英寸(Accretech 标准框架类型)

标准配置包括空气加速清洗、漂洗和空气干燥。

高压清洗是可选方案之一。

规格

支持的框架尺寸 Φ300 毫米
桌子旋转次数 30 至 3000 分钟-1
空气加速洗涤 纯水(0.3兆帕,0.2升/分钟)
+流体与空气混合(0.4兆帕,100升/分钟)
冲洗压力 0.4 兆帕或更低
空气干燥压力 0.7 兆帕或更低
电源 三相交流电 200 伏 50/60 赫兹
最大耗电量 3千伏安
空气源 0.5~0.7MPa 200升/分钟(ANR)
水源 0.2 至 0.5 兆帕,2 升/分钟
尺寸(宽 x 深 x 高) 490 x 650 x 1400 毫米
重量 160公斤
本文网址 : https://www.yamakin-cn.com/product/6351.html

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