特征
该设备可在-55℃至+200℃范围内提供高速温度控制和稳定的晶圆测量环境。
这是我们专为晶圆探针台设计的高速冷却器。
它能够实现高速温度变化和稳定的温度控制，温度范围为-55℃至+200℃。*1
无需主冷却水的空气冷却系统，
配备变频控制冷冻机，
循环液回收功能，
探针吹扫空气控制功能
*1 取决于探针型号
空冷式低温冷却器是一种专为真空系统设计的制冷设备，它通过压缩机制冷循环，将低温探头或冷阱冷却至极低温度，从而高效捕集水蒸气等气体，是液态氮冷却的替代方案。高速型则特指那些具备极高抽气速度的型号，旨在显著缩短真空系统的抽气时间并提升工艺吞吐量。
空冷式低温冷却器高速型的主要特点在于其卓越的抽气性能与便捷的操作维护。
