这是我们用于晶圆探针台的标准冷却器型号。
它能够将卡盘温度控制在-55℃至+200℃范围内。*1

无需主冷却水的空气冷却系统，
配备变频控制冷冻机，
循环液回收功能，
探针吹扫空气控制功能

*1 取决于探针型号

1. ‌替代液态氮‌：作为紧凑型液态氮替代品，它有效消除了使用液态氮相关的成本、不便与潜在危害，同时提供了同等甚至更优的性能。‌1
2. ‌易于集成与维护‌：设备设计紧凑，安装简便，可快速集成到现有的扩散泵、涡轮泵或低温泵系统中，是一种极具成本效益的升级方案。‌3 其快速、简便的维护特性有助于快速获得投资回报。‌1

关键技术参数与设计

高速型低温冷却器的性能体现在以下关键参数与专利技术上：

• ‌抽气速度‌：理论最大抽气速度可高达328,000升/秒，实际工作速度覆盖10,000至220,000升/秒的范围。‌3
• ‌制冷功率‌：除热功率可达120瓦（针对小型系统）或高达4000瓦（针对大型高容量系统），以满足不同负载需求。‌13
• ‌温度范围‌：低温表面的工作温度范围通常在-98°C至-135°C之间。‌3
• ‌核心技术‌：采用获得专利的Polycold®混合制冷剂技术，基于自动制冷循环，在闭环系统中运行。该制冷剂不含HCFC，符合全球环保标准。‌13 其运作遵循麦士纳（Meissner）捕获原理，通过低温盘管表面的直接冷凝捕集水蒸气。‌3
• ‌合规性‌：产品通常具备CE标识，符合低压指令、EMC指令以及关于制冷剂的欧盟与美国环保标准。‌13