这是我们专为晶圆探针台设计的高速冷却器。
它能够实现高速温度变化和稳定的温度控制，温度范围为-55℃至+200℃。*1

为了适应您的环境，可以在使用主冷却水的水冷运行和空气冷却运行之间切换。

配备变频控制冷冻机、
循环液回收功能
和探针吹扫空气控制功能

*1 取决于探针型号

典型应用场景

空冷式低温冷却器高速型适用于对抽气速度和循环效率要求较高的真空工艺环境：

• ‌高真空系统‌：用于快速抽空至10⁻⁸ Torr量级，同时防止真空泵液体回流。‌1
• ‌薄膜沉积工艺‌：如真空镀膜、磁控溅射等，通过降低水蒸气分压来提高薄膜附着力、品质和工艺可重复性。‌3
• ‌质谱检漏仪‌：为检测设备提供稳定的低温冷阱冷却。‌1
• ‌系统升级与扩容‌：作为最具成本效益的升级产品，加装后可大幅提升原有真空系统的吞吐量与性能。‌3

综上所述，空冷式低温冷却器高速型凭借其高速抽气、深度冷却、快速循环及环保高效的特点，成为替代液态氮、优化真空工艺性能的关键设备。