适用于大型样品或批量样品处理的大容量洁净烘箱
电子元件的小型化提高了对洁净热处理环境的需求。例如，虽然灰尘以前不是问题，但最近它已开始显著影响小型化电子元件的可靠性。在半导体生产中，即使是生产过程中使用的夹具也必须符合洁净度要求。

ESPEC的1500升大型洁净烘箱正是满足这些需求的理想之选。它不仅可以一次性处理大量试样，而且符合日益增长的“洁净环境热处理”要求。

由于半导体制造成本的降低，大容量洁净炉的需求也日益增长。例如，将晶圆尺寸从 200 毫米增加到 300 毫米，表面积将增大 2.25 倍，芯片产量几乎翻倍。退火时间与晶圆尺寸无关，因此产量将翻倍——这只有使用大容量洁净炉才能实现。

支持大体积和大尺寸标本
为了支持批量热处理样品，以及对晶圆夹具、石英管和其他尺寸日益增大的物件进行干燥和退火，该型号的内部尺寸已扩大。立式设计最大限度地节省了安装空间。