‌质量流量控制器（Mass Flow Controller, MFC）是一种能够精确测量并自动控制气体或液体质量流量的高精度仪器设备‌，广泛应用于半导体制造、新能源、生物医药、科研实验等对气体流量控制要求极高的领域。

它不仅能实时检测流体的质量流量，还能通过闭环控制系统将实际流量稳定在用户设定的目标值上，即使面对系统压力波动或环境温度变化，也能保持流量恒定，是实现工艺精准控制的核心装置。

核心组成与工作原理

MFC主要由三部分构成：

1. ‌高精度质量流量传感器（MFM）‌：实时测量流经介质的质量流量；
2. ‌比例调节阀‌：作为执行机构，动态调节阀门开度；
3. ‌控制电路‌：对比设定值与实测值，驱动阀门动作，实现闭环控制。

其工作原理基于热式或科里奥利效应等物理机制。以热式MFC为例，气体流过加热的毛细管时会带走热量，传感器根据温差变化计算出质量流量，并与设定值比较，差值信号被放大后用于调节阀门，使流量迅速稳定在目标值。