HONDA本多电子 W-357-1MQG-SKC 石英振动式清洗机
HONDA本多电子 W-357-1MQG-SKC 石英振动式清洗机
石英振动式清洗机[高频] | W-357-1MQG-SKC 家 产品信息 工业产品 产品阵容 超声波清洗设备 石英振动体式清洗机 [高频石英振动体式] 石英振动类型 实现低损伤、高清洁度的新一代清洗 2006年，我们实现了全球首台石英振子超声波清洗装置的商业化。 该装置通过将超声波叠加在石英振子上来清洗半导体晶圆。 与间歇式和流通式清洗相比，该装置不仅减少了化学药剂的使用量，而且由于与液体接触的部分只有石英玻璃，垫圈等橡胶材料不会与液体接触，因此能够保持较高的清洁度。 此外，通过选择适合您需求的石英振子形状，可以根据您的需求进行有效的清洗，例如低损伤清洗、大面积清洗、斜面（边缘）和缺口（晶圆边缘的切口）清洗等。 概述 特征 对具有微细图案的晶圆进行清洗，且损伤小。 ■通过将超声波叠加在石英 振动子上来清洗半导体晶圆。超声波振动通过药液从石英振动子传递到半导体晶圆，使接触点的药液振动，通过加速度去除表面污染物。 ■对半导体晶圆的损伤小，实现清洁清洗 。与使用填料等橡胶材料的设备相比，通过在与药液接触的部分使用石英，可以实现清洁清洗，而不会产生橡胶溶出或磨损。 ■配备振子冷却功能，可使用气体（氮气等）冷却振子，从而实现频率无波动的稳定连续运行。 冷却还可以防止温度急剧变化，从而延长使用寿命。 目的 光刻胶残留物去除 、蚀刻和灰化后聚合物去除、 栅极电极清洗、 CMP后清洗 规格 ■ 振荡器 ●输出可变范围：0W～12W（振动器允许输入：使用空气吹扫冷却振动器时，10W连续） ●使用周围环境：温度：15～35℃、湿度：10～85％ ●外部驱动接点额定值：超声波振荡控制（控制侧）接点输入：DC12V 16mA以上 警报输出（主机）接点容量：DC24V 0.5A ■附带连接线：电源线（从AC100V/2m或AC200V 2.4m中选择）、控制线（5m）x 4 ■ 振动体 ●液体温度范围：20至50°C ●振动器：PZT ●材质：振动器：石英玻璃、密封垫：硅橡胶、外壳：PCTFE ●电缆长度：输出电缆1.5m+中继电缆3.5m ●空气吹扫接头：适用管（外径φ6） *2MHz、3MHz、4MHz 和 5MHz 也可作为特殊订单。
