■ 高精度控制：
灵敏度为0.1% FS，重复性为±0.1% FS，可实现高精度气动控制。
■ 优异的性能：
泄压特性、压力特性和流量特性均优异。尤其值得一提的是，最小泄压压力（泄压灵敏度）低至0.03 kPa（理论计算值）。
■ 优异的启动性能：
即使长时间未运行，也无需重新调整压力。
■ 长期压力稳定性：
设定压力后，可长时间精确维持设定压力。
■ 高分辨率压力：
采用五相步进电机驱动，只需一步即可精确可靠地改变设定压力。通过微步驱动，可实现0.1 kPa或更低的设定分辨率。
■ 断电保压：即使
发生突发断电，二次压力也能维持设定压力。
