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■ 高精度控制:灵敏度高达 0.13 kPa (1 mmHg),重复性高达 0.3 kPa (2.2 mmHg),可实现高精度真空控制。■ 优异的压力特性:对主压力波动的响应,设定压力波动小于 1.3 kPa (10 mmHg)。■ 高流量型:可处理高达 270 l/min(标准)的流量,适用于高流量应用。■ 良好的响应性:对二次压力波动响应灵敏。
■适用于需要高精度、高流量真空控制的应用。
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