
这款超精密调压器适用于洁净室,其伺服平衡系统采用滚动隔膜和测量胶囊进行压力控制,可实现精确的压力调节。
■ 洁净室规格
所有部件均采用不锈钢和氟橡胶制成,部分部件采用化学镀镍工艺,因此粉尘产生量极低。
■ 排气口 排气
管道可连接至泄压口和排气口,将泄压空气和排气空气排放到洁净室外。
■ 兼容
歧管 可连接歧管管道。
■ 高精度
灵敏度为0.1%FS,重复性为±0.1%FS,可实现高精度压力控制。
■ 长期压力稳定性
压力设定后,长期几乎无需调整。
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