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■卓越的响应性能:得益于高响应的薄膜波纹管和高流量执行器,即使在负载较大的移动平台上运动时,也能将行程波动降至最低。■纤薄外形:采用薄膜波纹管系统,实现了纤薄的隔振装置结构。FVH-2400F 的高度仅为 169 毫米(中立状态)。因此,可以降低安装设备的重心。
■ 精密设备地面减震半导体制造设备、半导体检测设备、液晶曝光设备、精密测量设备、精密加工机械及其他精密仪器等。
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