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山金现货 tecnos特库诺斯 HOT N2 热氮气加热器

一种能够时刻保持真空排气管道清洁的新工具。
半导体和液晶显示器制造设备的排气管路由于大量粉末的存在，始终面临污染和堵塞的风险。
高温氮气加热器利用现有的稀释氮气，能够以低成本预防和解决这些问题。
高温氮气加热器还可用于缩短低温泵的再生时间，以及吹扫装载锁腔室。

与传统技术的比较
虽然传统方法可以从外部对排气管道进行隔热以抑制粉末积聚，但这只能隔热管道内壁。因此，如果管道形状复杂，
粉末会粘附在隔热不足的区域并不断堆积。
而高温氮气加热器则能提高管道内壁的整体温度，因

所属分类：
tecnos特库诺斯
发布时间： 2026-03-20

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热氮气加热器安装效果

过程	机器	安装位置	影响
P-CVD设备	森图拉	副总统之后	仓库容量大幅减少
P-CVD设备	概念二	副总统之后	降低真空泵故障率
干法蚀刻设备	金属森图拉	副总统之后	减少排气管内的粉尘问题
干法蚀刻设备	M-308	副总统之后	泡沫停滞带来的问题减少