VeraSpec APIMS 实时多物种监测
针对电子气体中的关键杂质
我们的TIGER OPTICS™ VeraSpec™大气压电离质谱仪(APIMS)专为半导体和其他高科技工业应用中使用的超高纯度(UHP) 气体的污染控制而设计，具有可靠且可重复的低万亿分之一检测限。

污染代价高昂，30多年来，我们的EXTREL四极杆质谱技术一直是在线检测气体混合物中低浓度组分的研究和工业标准。我们的VeraSpec APIMS采用EXTREL 19mm三滤膜四极杆质谱仪滤膜，是半导体气体分析的理想之选，可实现最佳性能、可靠性和正常运行时间。

业界领先的散装气体分析最低检测限 (LDL)
实时、多组分监测散装气体中所有关键杂质，包括痕量 O₂ 、 H₂ 、 H₂O 、 CH₄ 、 CO、CO₂ 、 Xe 等。
成熟、强大的质谱技术
采用独特的双源电离配置，测量范围从 PPT 到 100%，无与伦比。