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全新 Process Insights潽洛因思 RGA 残余气体分析仪

RGA | 无与伦比的残余气体分析仪
我们的EXTREL™ 残余气体分析仪 RGA™是一款可靠易用的残余气体分析仪,具备全量程压力测量功能。它以实惠的价格提供卓越的性能,是背景气体分析、泄漏检测和真空室特性分析的理想之选。该系统提供两种质量范围:1 至 100 amu 或 1 至 300 amu。标配法拉第检测器,也可选配双法拉第/电子倍增检测器。残余气体分析仪 RGA可通过 RS-232C 或 USB 接口与 Windows® XP 或 7 操作系统通信。配套软件功能强大且易于使用。

好处
残余气体分析仪 (RGA)是一种高灵敏度、多功能的气体分析仪,常用于真空系统中,用于测量和分析残余气体的成分。以下是残余气体分析仪 (RGA)的一些优点:

高灵敏度:灵敏度极高,能够检测痕量气体。它可检测质量范围为 1 至 300 原子质量单位 (amu) 的气体,因此适用于广泛的应用领域。
实时监测:可实时监测残余气体,从而实现对真空系统的即时反馈和调整。这在高精度应用中尤为重要,因为即使气体成分的微小变化也会对性能产生显著影响。
多功能性:这款多功能仪器可应用于真空加工、半导体制造和材料科学等众多领域。它还可用于检测真空系统中的泄漏,从而减少停机时间,节省时间和成本。
易于使用:操作简便,非专业人员也能轻松上手。它拥有用户友好的界面,方便数据采集和分析。
坚固耐用的设计:专为可靠持久的性能而设计。它结构坚固耐用,并且抗冲击和抗振动。
  • 详细介绍

长寿命双灯丝和离子源套件 

双钍涂层灯丝用于四极杆和电离规的电子发射。灯丝通过电离和皮拉尼效应双重保护,免受真空波动带来的应力影响。我们的RGA装置灯丝寿命远超传统RGA装置。即使其中一根灯丝最终烧毁,另一根灯丝也能保证正常运行,直至更换灯丝为止。

超灵敏检测 

RGA装置标配法拉第杯检测系统。仅使用法拉第杯,即可进行10⁻⁴至10⁻¹¹托的分压测量。选配倍增器后,灵敏度可扩展至5×10⁻¹⁴托。新型离子电流放大器可在单次扫描中检测10⁻⁶至10⁻¹⁵安培的离子电流。如此巨大的动态范围允许在一次扫描中同时存在极大和极小的峰值。 

优势

  • 模块化紧凑设计,便于安装和维护
  • 内置皮拉尼压力表和BA压力表,可进行全压力测量
  • 测量速度快、稳定性高、分辨率高
  • 最小可检测分压为 5 x 10⁻¹⁴ Torr
  • 30分钟预热时间即可支持多头运行
  • 双丝设计,具有过压保护功能
  • 可编程电子和离子能量
  • 直观易用的软件,配备简单易用的图形界面
  • 计算机接口选择:串口或USB
  • 全球现场和远程支持

RGA Vacuum Plus 软件

所有RGA系统均标配Vacuum Plus Real-Time Windows®软件套装。直观的图形用户界面使用户能够轻松掌握系统的全部功能。用户可以快速便捷地监控整个抽真空过程。为了进行更深入的分析,用户可以保存XML数据文件(文本格式)并将其导入电子表格;也可以保存图形图像或将其复制到其他Windows程序中。

强大的操作模式

Vacuum Plus 软件提供模拟扫描模式、趋势模式、泄漏检测模式和诊断输出模式等多种操作模式。用户可以选择模拟或对数强度输出,从而精确地查看所需信息。标尺进一步增强了用户放大感兴趣区域的能力。网格线选项可以更精确地计算图表上的峰值高度。强度输出单位可设置为托、帕斯卡或离子电流。

 
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