高精度
主动扫描
桥
蔡司 MICURA
这款紧凑型高精度测量仪性能卓越，专为接触式测量而设计，能够以极高的精度评估公差极小的精密零件。
特征

即使对于小型工件也能实现高精度测量

蔡司 MICURA 是一款高精度坐标测量机，专用于对小型零件进行接触式测量。它拥有紧凑的机身，并配备多种机构和技术以提高精度，从而保证了 E0, MPE = 0.7+L/400 μm 的测量精度。
当配备 VAST XT 金色传感器时，可使用最小球径为 φ 0.3 mm 的测针，从而实现对细节的高精度测量。

标配VAST
XT gold主动扫描传感器，该触觉传感器支持“主动扫描”功能，能够保持测量力恒定，并控制测量力方向垂直于工作表面。

轴标尺是精度的关键，它由一种因热胀冷缩而膨胀和收缩
极小的材料制成。标尺采用 Zerodur® 材料，这种材料的热膨胀系数极低，可以最大限度地减少环境温度变化对精度的影响。

独特的浮动式标尺固定方法：
每个轴的标尺都采用独特的固定方式，即一端固定在导轨上，另一端自由活动，这样标尺就不会受到温度变化引起的导轨膨胀和收缩的影响。

气浮轴承在四个方向上支撑导轨。

测量机在运行过程中，通过气浮轴承在上下左右四个方向上支撑各轴导轨，来抑制其扭转。

主动阻尼系统可防止振动对精度的影响

作为标准配置的气动主动阻尼系统可保持测量机水平，并减少来自地面的振动传递。