特征
一种独特的探测器,能够以超高精度和高分辨率进行测量。
这款测量机采用ACCRETECH的组成技术之一——光纤激光干涉仪,并集成了新开发的、分辨率高达0.31 nm的高稳定性光路型激光干涉仪。该系统具有42,000,000:1的动态范围和分辨率比。这意味着只需一次测量,即可评估大范围的轮廓线,甚至包括隐藏的精细表面。
一次测量即可同时测量表面纹理和轮廓。该系列产品包括带倾斜功能的驱动单元,方便用户接近测量位置。

由于X轴(水平方向)测量范围达200毫米,Z轴(垂直方向)测量范围达13毫米,一次测量即可在大范围内评估表面纹理和轮廓形状。此外,SURFCOM CREST-T配备驱动单元倾斜装置,可自动控制驱动单元倾斜±45°,从而能够对工件的位置和姿态进行精细调整,减少反复尝试确定测量点是否可接近所需的时间和精力,实现更高效的测量。
(已获专利的)线性电机驱动单元实现了低振动、高速度的驱动。
SURFCOM CREST 配备了 ACCRETECH 的专利技术——线性电机驱动跟踪驱动器。由于其能够实现高速驱动,因此可以缩短手动模式下接近工件、创建 CNC 程序以及在 CNC 测量过程中进行驱动所需的时间。这提高了从准备到测量的整个检测过程的效率。
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