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表面纹理测量
SURFCOM 1400G-LCD
这是一款表面纹理测量仪器，适用于评估大表面积薄工件（如玻璃基板、静电卡盘或晶圆）的波纹度、表面粗糙度和水平差。

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特征

这款表面纹理测量仪在玻璃基板测量和静电吸盘测量方面拥有丰富的应用经验。

SURFCOM 1400G-LCD 可测量大面积薄型工件，测量范围广。与一般表面纹理测量仪的拾取侧沿 X 轴方向移动不同，该仪器采用工作台侧（便携式工件跟踪驱动器）沿 X 轴方向移动进行测量。它支持超过 300 毫米的宽驱动范围和高 X 轴直线度精度，能够提供高度可靠的工件波纹度、表面粗糙度、水平差等测量结果。此外，由于拾取固定部分可沿 Y 轴方向移动，因此可以轻松接近工件上的各种位置，并可沿多条线评估波纹度和粗糙度。

测量范围 300 毫米 × 250 毫米型
X 轴：300 毫米，Y 轴：250 毫米

测量范围 500 mm × 500 mm
，X 轴 500 mm，Y 轴 500 mm

测量范围 650 mm × 650 mm 型
X 轴：650 mm，Y 轴：650 mm

可定制以满足各种需求

我们提供各种定制服务，包括与工件相匹配的装载板、Y 轴电机驱动装置、用于精确测量静电卡盘压花等精细细节的测量位置确认单元，以及自动重试功能，该功能会自动重新测量，直到测量出压花的直径，同时在 Y 轴方向上微调测量线。