3D白光干涉显微镜
非接触式表面纹理和轮廓测量仪器
光学镜
用于测量纳米/亚纳米级表面粗糙度的
3D白光干涉显微镜

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特征

高分辨率、宽范围、高速的3D白光干涉显微镜光学显微镜

Opt-scope 是一款三维白光干涉显微镜，具有高达 0.01nm 的垂直分辨率，且该分辨率不受镜头放大倍率的影响。由于其能够使用低倍率镜头测量纳米级表面轮廓，因此可以一次性完成高速、大范围的测量。对于激光显微镜或其他非接触式测量仪器无法测量的亚纳米级表面粗糙度、透明物体和高纵横比结构，Opt-scope 均能以极高的重复性进行测量。

新型光学瞄准镜提供了更高的灵活性。

NEX平台型号Opt-scope NEX可灵活处理各种工件。产品线新增两款机型：一体式落地安装DX型，操作便捷；以及桌面式SD型。

DX型一体式地板安装

桌面SD卡

新型号可通过组合使用各种工具来处理多种类型的工件。

东京精密公司过去曾致力于满足各种工件测量需求。基于以往积累的经验，我们提出将工件夹具和对准工具相结合，以满足您的特定需求。

无需切割即可测量大型工件。

新型号能够安装和测量大型工件，这是现有型号无法实现的。

例如，可以在砂轮竖直放置的情况下测量其直径为300毫米的尺寸；像气缸盖这样的盒状工件或像凸轮轴这样的长形工件无需切割即可放置在测量台上。这减少了准备切割工件所需的人工时间，从而节省了劳动力。

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最大承重：96公斤

具备高度可扩展性，可实现自动化和节省劳动力

这是一个具有高度可扩展性的平台系统，可通过多种方式实现自动化和节省劳动力，例如可选择的底座立柱尺寸、宽测量部分的上下运动行程、立柱的电动左右进给以及XY电动平台。

与触控笔类型高度相关

东京精密多年来一直是触针式表面粗糙度测量机的市场领导者，Opt-scope 与触针式测量结果具有相关性。

符合 ISO 25178-2 和 JIS B 0681-2 三维表面纹理参数标准

作为 ISO/TC213 的长期成员，东京精密一直致力于 3D 表面纹理测量的传播和推广。

选配高速摄像头后，扫描速度提高了6倍。

根据精度要求提供两种模式选择，使高速模式能够达到更高的速度。

聚焦变化测量功能可实现毫米级高速形状测量。

焦点变化测量功能基于焦点变化显微镜技术，该技术是ISO 25178-606（三维表面纹理国际标准）中规定的测量方法，能够测量毫米级轮廓，包括高角度斜面，而这对于白光干涉测量法来说难以实现。新增的焦点变化测量功能与传统的白光干涉测量法相结合，使Opt-scope能够满足更广泛的测量需求。