半导体内部观察显微镜 SWIR-5200/SWIR-7200
半导体内部观察显微镜 SWIR
-5200（配备 130 万像素短波红外相机
）和 SWIR-7200（配备 524 万像素短波红外相机）。该显微镜

利用红外光的透射和反射特性
来观察硅晶片、芯片、MEMS 和 CSP 等半导体器件的内部结构
。 它适用于观察芯片内部的金属布线和芯片键合情况

。 SWIR-5200 配备 130 万像素 SONY IMX990 短波红外相机，像素尺寸为 5μm；
　SWIR-7200 配备 524 万像素 SONY IMC992 短波红外相机，像素尺寸为 3.45μm。该系统
　能够在近红外波段获取前所未有的高分辨率图像。其
独特设计的成像管和
　PEIR物镜系列，专为高灵敏度的1100-1700nm近红外波段量身打造，即使面对厚晶圆和高密度晶圆，也能获得高对比度图像。
高功率近红外卤素光源确保即使使用100倍物镜也能获得明亮的图像。
标配8英寸晶圆台，并可选配隔振台和晶圆自动装载机等配件。