视觉刀片检测 (VBI) 传感器在晶圆切割过程中持续监测刀片性能，确保质量稳定并最大限度地减少浪费。通过实时测量刀片磨损和形状，可在不中断生产的情况下减少废料。

为了验证刀片相对于晶圆的位置，传感器会执行刀片位置检查 (NCS)，从而抑制因定位不准而导致的芯片缺陷。Marposs 实现了卓越的重复性和显著更高的切割速度。如果在切割过程中检测到刀片断裂 (BBD) ，传感器采集的数据将进行实时分析，从而提高切割质量和整体工艺效率。传感器可以监测刀片的磨损程度，并在刀片开始磨损时向操作员发出警告或启动自动更换系统。

该接口单元可连接两个传感器。它可以对两个传感器执行相同的功能，也可以对两个传感器执行两种不同的功能。

• 高级监控：提高过程可靠性
• 刀片位置检查循环NCS：可实现高速定位和出色的重复性。
• 高速采样：以高速连续捕获图像，实现最新的监控功能。
• BBD算法：快速检测刀片断裂并减少误报。
• 信号传输：不使用光纤，从而减轻了与漏洞相关的问题。
• 减少停机时间：将定位时间控制在 1.8 毫米范围内，以优化生产效率。
• 部署简便：无需复杂修改即可轻松部署到机器上。
• 直观的配置：可通过集成服务器轻松编程。
• 高级功能：根据环境光照条件自动设置探头。