HPI 尺寸: 用于工业应用的原子力显微镜 (AFM)
Dimension®系列原子力显微镜(AFM)以其卓越的速度和性能赢得了良好的声誉,并在工业测量应用领域拥有悠久的历史。Dimension HPI和PRO系统专为大规模生产环境而设计,可在多种AFM模式下实现自动化测量,同时为质量控制、质量保证和故障分析提供极致的易用性和操作性。借助接触式、轻敲式和PeakForceTapping®模式技术,用户可以精确控制探针与样品之间的相互作用,即使经过数千次重复测量也能获得准确的结果,并保持探针的使用寿命。
维度专业版
Dimension Pro 系列可完全兼容 200mm/300mm 晶圆,并允许您在 Icon/FastScan 扫描头或同时使用两种扫描头之间进行选择。随附的 AutoMet 软件支持一键测量多个预设点。
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