| 规格表 | Dektak Pro-E （入门级） |
Dektak Pro-S （标准版） |
Dektak Pro-A （自动化） |
Dektak Pro-A200 （自动化） |
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| 测量技术 | 触针式轮廓测量（接触法） | |||||||||||||||||||
| 测量能力 | 二维轮廓 | 二维轮廓 |
二维轮廓 |
二维轮廓 |
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| 样本观测 | 0.275–2.2 毫米（带 1–8 倍自动数码变焦功能） | |||||||||||||||||||
| 手写笔传感器 | 低惯性传感器（LIS3传感器） | |||||||||||||||||||
| 触控压力范围 | 1-15毫克（LIS3传感器） | |||||||||||||||||||
| 耐压选项 | 0.03 至 15 毫克（N-Lite+ 选项） | |||||||||||||||||||
| 触控笔选项 |
尖端曲率（50 nm、2 μm、2.5 μm、5 μm、12.5 μm、25 μm） |
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| 样品台（X/Y） | 手动 100 毫米（4 英寸），手动调平 |
电动 150 毫米（6 英寸）， |
电动 200 毫米（8 英寸）， |
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| 样品阶段（R-Θ） | — | 手动360度 | 电动360度 | 电动360度 | ||||||||||||||||
| 隔振 | 我们提供多种隔振解决方案。 | |||||||||||||||||||
| 扫描长度 | 55毫米（2英寸） |
55 毫米（2 英寸）， |
55 毫米（2 英寸）， |
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| 每次扫描的测量点 | 每线最高可达 120,000 点 | |||||||||||||||||||
| 最大样品厚度 | 50 毫米（使用标准晶圆真空吸盘时） | |||||||||||||||||||
| 最大晶圆尺寸 | — (※□ 100mm) | 200 毫米（8 英寸） | ||||||||||||||||||
| 台阶高度测量重复性 | 1σ ≤ 4Å（使用 12.5 μm 的测针，对 30 次连续测量进行测量，每次测量步长差不超过 1μm，得到的 σ 值） | |||||||||||||||||||
| 身高测量范围（最大值） | 1毫米 | |||||||||||||||||||
| 高度分辨率 | 1 Å（当选择 6.5 μm 测量范围时） | |||||||||||||||||||
| 输入功率 | 100-240伏交流电，50-60赫兹 | |||||||||||||||||||
| 温度范围 | 20-25℃ | |||||||||||||||||||
| 湿度范围 | ≤ 80%（无冷凝） | |||||||||||||||||||
| 系统尺寸和重量 |
主机尺寸：宽 442 毫米 x 深 538.7 毫米 x 高 410.7 毫米，重量：38 公斤； |
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如有任何疑问，请随时与我们联系。
