布鲁克JV-DX系统是一款先进的仪器，能够全自动完成薄膜X射线分析中使用的所有测量技术。入射和接收光学系统均实现全自动控制，无需用户干预即可在广角X射线衍射(XRD) 、高分辨率X射线衍射(XRD)和X射线反射率(XRR)测量之间自动切换。测量过程在系统预设的程序中完全自动化，可实现从晶相定性分析、极点分析（用于研究晶体取向）、低角度入射（薄膜法）测量超薄膜，到使用XRR测量薄膜厚度、密度和粗糙度，以及使用高分辨率XRD测量成分和薄膜厚度等一系列全自动测量。半手动模式甚至可以进行更复杂的测量。样品台支持300mm晶圆的全表面映射，并可与自动晶圆传送机器人配合使用。
