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原厂 BRUKER布鲁克 X射线形貌系统 JV SENSUS

布鲁克JV Sensus是一款用于晶圆制造实验室的X射线形貌分析系统。近年来,随着对硅衬底施加深沟槽应力的工艺日益普及,测量工艺过程中产生的不可见裂纹的需求变得尤为迫切。缺陷尤其容易出现在晶圆内部的异质区域,例如凹槽和斜面,而该系统能够通过零边缘排除测量进行分析。由于采用X射线,它甚至可以穿透并测量金属图案。借助高速选件( 600f ),该系统可实现高达24 WPH的吞吐量。
  • 详细介绍

工业X射线测量设备是现代制造业中实现‌高精度、非破坏性质量检测‌的核心工具,广泛应用于电子、新能源、汽车、航空航天等领域。这类设备利用X射线穿透物体,通过探测器捕捉衰减信号,生成内部结构图像,从而识别缺陷、测量尺寸、分析密度分布。


核心功能与技术特点

  1. 缺陷检测

    • 可识别焊接裂纹、气孔、夹渣、未熔合等内部缺陷。
    • 在锂电池制造中,用于检测电芯内部短路、极片错位、异物混入等问题。
    • 半导体领域支持BGA、IGBT、3D封装的焊点完整性验证。
  2. 尺寸与密度测量

    • 支持微米级精度的几何尺寸测量和壁厚分析。
    • 工业CT技术可实现三维重建,用于复杂零件的逆向工程与装配验证。
  3. 智能化与自动化

    • 集成AI算法实现自动缺陷识别(ADR),提升检测效率与一致性。
    • 支持与生产线联动,实现实时剔除不合格品。
本文网址 : https://www.yamakin-cn.com/product/7912.html

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