光学薄膜厚度计 NanoSpec6500
Nanospec6500系列是一款已成为全球标准的光学薄膜测厚仪。我们传承了Nanometrics公司的技术，并自2005年起开始生产和销售该产品。这款薄膜测厚仪采用测量点测量法，可提供精确稳定的薄膜厚度数据。它既可测量单层薄膜，也可测量多层薄膜，并兼容多种型号的设备。

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Nanospec6500 光学薄膜测厚仪是什么？
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Nanospec6500 光学薄膜测厚仪是什么？
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Nanospec6500系列产品专用于测量平板显示器（FPD）生产线上涂覆或沉积在玻璃基板上的薄膜厚度，它融合了Nanometrics公司多年积累的先进光学技术和专业知识，以及分析软件和高精度平台驱动技术。该系列产品已向全球各大FPD厂商交付超过100台。在Nanospec6500系列产品业务转移后，东邦科技（Toho Technology）利用自身独特的技术，进一步开发和提升了该系列产品的价值，目前负责该系列产品的生产、销售和服务。

高可靠性测量头
Nanospec6500可实现高通量、高精度、高可靠性的薄膜厚度测量和质量评估。
其薄膜厚度测量原理基于光的干涉法。白光垂直照射到样品上，薄膜上下界面反射的干涉光被引导至光谱头。通过分析光谱分离光的强度来计算薄膜厚度。
为了能够测量图案化的微小区域，我们提出了一种最小尺寸为 0.75 μm 的小光斑测量方法。使用 0.75 μm 的光斑可以同时测量三层薄膜（包括 n 值和 k 值）的厚度。

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单层/多层测量
这是一个测量薄膜结构的示例。我们使用样品测量所需的薄膜类型/厚度，然后创建模型/配方。我们经验丰富的应用工程师会在将模型交付给客户之前，创建并验证其准确性和最优性。

单层
单身的
层
多层膜
多
层
SiOx/玻璃，金属 SiOx/多晶硅/SiOx/SiNx/草、金属
SiNx/玻璃，金属 多晶硅/氧化硅/氮化硅/草，金属*
非晶硅，纳米非晶硅/草 a-Si/SiOx/SiNx/SiOx/草、金属 *
ITO/玻璃，金属 抵抗/ITO/草
聚酰亚胺/玻璃，金属 ITO/SiO2 /草
抗蚀剂/玻璃、金属 PI/ SiO2
Ta 2 O 5 /草 SiOx/SiNx/草
AI 2 O 3 / AI Ta 2 O 5 /SiNx/草
东宝定制
我们所有流程均由公司内部完成，涵盖从设计到制造的各个环节。同样，我们也自主完成电气设计和CIM通信设计，从而能够根据您的特定需求进行定制。此外，我们专业的应用工程师团队还能提供先进的配方支持。

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用途/应用
1Nanospec 软件
这款软件界面友好，任何人都能轻松操作。它支持多种配方设置、测量参数设置、数据管理和可选功能，可使用同一软件进行薄层电阻测量、接触角测量和台阶高度测量。

Nanospec软件的图像
2薄膜厚度分布显示
根据测量数据可以生成薄膜厚度分布图，从而直观地了解薄膜的平面内状况。每种薄膜厚度差异都用不同的颜色显示。

图片展示了薄膜厚度分布情况。
33D地图
根据测量数据创建三维地图并以三维形式显示。每种薄膜厚度差异都用不同的颜色表示。