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货存 toho-tec东朋科技 台阶高度测量仪 FP-X

FP系列台阶高度测量装置
FP系列台阶高度测量仪拥有超过30年的销售历史。该设备采用KLA公司的微型测头。FP系列是一款触针式台阶仪,可实现精确、高精度的测量。它已供应给几乎所有液晶面板制造商,并成为标准配置。

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FP系列台阶高度测量装置是什么?
用途/应用
产品系列及规格
FP系列台阶高度测量装置是什么?
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该设备配备了超低针压触针式测量头(微型头),针压可设置为 0.5 毫克,凭借其稳定的台阶高度测量(薄膜厚度测量),在显示基板触针式台阶高度测量设备(薄膜厚度测量设备)中占据全球第一的市场份额。

我们提供两种类型的台阶高度测量装置:FP-X/G 型适用于大型显示​​基板,FP-A 型适用于小型显示基板。这些装置可以实现自动化,并可根据您的应用需求进行定制。

高可靠性测量头
它配备了KLA公司的微型云台。这款微型云台在全球范围内拥有良好的口碑,是一款高度可靠的云台。通过将坐标运动轴和测量轴分离,并在测量过程中驱动专用轴,可以获得更精确的测量数据。

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KLA专有的低压直流传感器
采用KLA公司的LVDC触针式传感器技术,可实现稳定的测量。
与典型的LVDT直接作用式传感器相比,该结构具有更优异的耐用性和更稳定的测量性能。此外,它还能精确捕捉电容变化,从而获得更精确的测量数据。

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东宝定制
我们所有流程均由公司内部完成,涵盖从设计到制造的各个环节。同样,我们也自主完成电气设计和CIM通信设计,从而能够根据您的具体需求进行定制。

图片仅供参考
用途/应用
1分析软件
该软件界面友好,任何人都能轻松操作。它支持多种配方设置、测量参数设置、数据管理和可选功能,使用户能够通过同一软件完成薄层电阻测量、接触角测量和光学薄膜厚度测量等操作。

Profiler 软件的图片
2测量结果屏幕
测量结果界面可进行多种分析。它可以计算测量曲线中的最高点和最低点、测量光标范围内的平均值、多点测量的平均值以及重复性。显示比例尺会根据被测物体的高度自动调整,从而提供最佳显示效果。

测量结果屏幕图像
33D地图
可以利用二维扫描信息创建三维轮廓图像。从生成的图像中,您可以显示横截面和高度信息,从而查看三维图像并从整体视图中任意点查看数据。图像还可以360度旋转。
  • 详细介绍

产品系列及规格

FP-A

 

FP-A型 样品板尺寸:300毫米-880毫米
测量范围 最大 130μm
测量和重复性 1.5nm/1σ
测量定位精度 ±2μm
采样率 50-200 点/秒
测量类型 测量台(基板)可移动式

 

FP-A 图像

FP-X/G

 

FP-X/G 型 样品板尺寸:920毫米-3200毫米
测量范围 最大 130μm
测量和重复性 1.5nm/1σ
测量定位精度 ±2μm
采样率 50-200 点/秒
测量类型 测量头运动类型
本文网址 : https://www.yamakin-cn.com/product/8140.html

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