三维形状测量设备 ZYGO FPM
这是一款采用Zygo测量头的三维形状测量设备。其可靠的技术和卓越的物镜可实现高速稳定的测量。配合最新的MEGA Pixel测量头和软件，测量结果更加稳定。结合我们20年来积累的硬件技术，我们生产并销售用于LCD基板的形状轮廓仪。

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ZYGO FPM系列三维形状测量设备是什么？
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ZYGO FPM系列三维形状测量设备是什么？
ZYGO FPM系列三维形貌测量系统采用ZYGO的尖端技术，专为测量高分辨率移动设备和大屏幕高分辨率显示设备中使用的平板显示器的表面形貌而开发。
其多功能的测量能力使其成为测量LCD（液晶显示器）和OLED（有机发光二极管显示器）中使用的PS（光间隔层）、CF（彩色滤光片）、TFT（薄膜晶体管）、COA（TFT彩色滤光片）和MEMS（微机电系统）的理想选择。通过将ZYGO先进的检测头集成到我们成熟的自动化设备中，我们提供了一套稳定、高性能的测量系统。

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单次扫描视野内的高度信息
该系统配备了Zygo最新的NVUHS探头，该探头基于Zygo专有的白光干涉测量（SWLI）技术。这款探头专为平板检测而开发。由于它能够高速、高精度地观察表面结构，因此可以测量LCD面板CF和TFT基板上的光刻胶间隔层的高度/宽度以及阵列基板图案的线宽。单个视场内的测量可在约3秒内完成，从而可以进行各种分析。

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配备最新分析软件MX。
Zygo 最新推出的 MX 软件支持多种分析功能。它能够根据测量的 3D 数据自动分析特定物体的高度和宽度。与传统软件相比，该软件具有高度可定制性，用户可以选择所需信息并自由排列。此外，该分析程序采用最新技术，即使是角度接近 90 度的表面也能进行测量，而这在以前是无法实现的。

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优异的镜头特性
这款设备与Zygo公司专有的物镜配合使用时性能最佳。该物镜在视野范围内畸变极低，即使是拍摄到镜头边缘的图像也能进行精确分析。

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用途/应用
1身高测量
照片间隔片的高度和宽度可以自动测量。您还可以检查任意横截面的形状，并通过设置顶部/底部，裁剪并分析被测对象的一部分。

图片展示了身高测量方法。
2线宽测量
它可以自动测量线缆的宽度。还可以自动计算整条线缆的宽度，或者仅计算特定测量点的宽度。

图示线宽测量方法。
3二维地图和测量掩膜
通过将测量得到的 3D 图像显示为 2D 地图并设置测量掩模，可以自动执行各点之间的数据比较。