大成技研株式会社的“气体粉末去除”系统主要用于去除半导体和液晶显示器制造设备（离子注入、化学气相沉积、刻蚀等）排放的气体反应产物（细粉）。
该系统尤其能够完全阻隔离子注入和化学气相沉积设备排放的粒径小于1μm的反应产物，其采用涡流旋流吸附和高性能磁性元件。该系统元件几乎没有压力损失，可在真空泵前后使用，是一款突破性的粉末捕集器，能够轻松处理现有过滤器无法去除的细粉。该系统可显著减少维护时间并提高生产效率。
Trapack是什么？
TRAPAC 是一种粉末去除捕集器，用于去除半导体和液晶显示器 (LCD) 制造设备废气中的反应产物（细粉）。它有三种结构类型：涡流旋流吸附型、磁性元件型（TRAPAC 元件）以及结合了两者特性的组合型。其中，组合型能够完全阻隔蚀刻和化学气相沉积 (CVD) 设备排放的亚微米级细粉。
系统配置（真空泵前的安装）
实施效果
废气管道清洗
减少前向阀的维护
预防真空泵故障
生产力提升
前线维护成本降低
作品
系统配置（真空泵下游安装）
实施效果
废气管道清洗
预防真空泵故障
降低废气排放设备的负荷
生产力提升
减少排气管维护
