TRAPACK 是一类专用于工业气体处理中的气态粉末清除设备，尤其在泛半导体、FPD（平板显示）、光伏、LED等高精尖制造领域广泛应用。它通过高效捕集工艺过程中产生的微细粉尘颗粒（如金属氧化物、氟化物副产物等），保护下游真空泵、减少设备宕机时间，并提升整体工艺稳定性。
🔍 TRAPACK设备核心功能与优势
TRAPACK系列设备（如TAISEI TRAPACK TU-1500/J）主要针对反应腔体排气流中的亚微米级粉尘进行拦截，其技术特点包括：
- 高效捕集能力：可去除 1μm以下的超细粉尘，显著降低干泵磨损与卡顿风险
- 低压力损失：系统压降极小，不影响原有真空系统运行效率
- 多模式处理机制：支持水冷、风冷、热蒸发、离心力、吸附剂等多种粉尘处理方式
- 延长设备寿命：有效防止粉尘回流污染主工艺腔室，延长干泵维护周期
- 适用工艺广泛：涵盖CVD、蚀刻（Etching）、ALD、金属沉积（W-CVD）、BPSG、氮化物生成等
