| 行业 | 应用工艺 | 清除目标 |
|---|---|---|
| 半导体制造 | CVD, Metal-Etch, Ion Implantation | SiO₂、W、TiN等反应副产物粉尘 |
| 液晶显示器（LCD/AMOLED） | Tin-CVD, Nitride Deposition | 锡基、氮化物微粒 |
| 光伏（Solar） | 多晶硅沉积、刻蚀 | 硅粉、氟化钙颗粒 |
| LED生产 | MOCVD外延生长 | 金属有机物残留颗粒 |
System Trap（系统级捕粉器）
安装于主工艺腔与真空泵之间，全面拦截高浓度反应粉尘，适用于高价值产线防护。
Foreline Trap（前级管线捕粉器）
部署在干泵入口前段管路中，重点保护泵体，成本较低，适合改造项目加装
带加热套与涂层管道设计
防止腐蚀性气体冷凝，减少堵塞风险，同时降低加热套和管道维护成本
要不要我帮你整理TRAPACK设备主流型号参数对比（处理流量/适用颗粒/冷却方式/行业适配），帮你快速锁定适合产线的配置？
